A Shenyang Starlight Advanced Ceramics áttörést ért el a félvezető kvarchajók gyártásában

A Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., a szilícium-karbid termékek vezető gyártója, több mint 30 éves iparági tapasztalattal, sikeresen kifejlesztett és leszállított egy nagy teljesítményű kvarchajó-sorozatot félvezető ostyák feldolgozásához. Ez a mérföldkő kiemeli a vállalat azon képességét, hogy megfeleljen a fejlett félvezetőgyártás szigorú követelményeinek.

Innováció a kvarc hajótechnológiában

Évekig tartó szigorú kutatás-fejlesztés és tesztelés után a Shenyang Starlight tökéletesítette kvarccsónak-sorozatát, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártásban használt szeletek hőkezelésére terveztek. Főbb jellemzői:

Ultra nagy tisztaságú szilícium-karbid anyag, amely minimális szennyeződést biztosít a magas hőmérsékletű folyamatok során.

Kivételes hőstabilitás, képes ellenállni a gyors hőciklusoknak akár 1200°C-ig.

Precíziósan megtervezett szerkezeti integritás, amely megakadályozza az ostya vetemedését vagy sérülését a feldolgozás során.

Ezek a szilícium-karbid kvarccsónakok kritikus fontosságúak az ostyák lágyítása, diffúziója és oxidációs folyamatai szempontjából, ahol az anyag tisztasága és a hőteljesítmény kiemelkedő fontosságú.

A félvezetőipar igényeinek kielégítése

A félvezetőgyártók következetes, szennyeződésmentes kezelési megoldásokat igényelnek a kényes szilíciumlapkákhoz. A Shenyang Starlight szilícium-karbid kvarchajói ezeket az igényeket a következőkkel elégítik ki:

• Kiváló kémiai ellenállás a leválasztás és maratás során használt korrozív gázokkal szemben.

• Optimalizált kialakítás az egyenletes hőeloszlás érdekében, csökkentve az ostyafeszültséget.

• Hosszú élettartam, alacsonyabb teljes tulajdonlási költség a félvezetőgyártók számára.

"A szilícium-karbid kvarc hajósorozatunk az anyagtudomány évekig tartó finomítását képviseli – " –, mondta a cég szóvivője. " A nagy tisztaságú kvarcot és szilícium-karbidot precíziós gyártással kombináltuk, hogy olyan terméket szállítsunk, amely megfelel a félvezetőgyártás szigorú szabványainak."

K+F és minőségbiztosítás

A Shenyang Starlight sikere a következőkből fakad:

Elkötelezett K+F csapat, amely vezető akadémiai intézményekkel működik együtt.

Fejlett vizsgálati protokollok, beleértve a hősokk-állóságot és a részecskekibocsátás-elemzést.

ISO 9001 tanúsítvánnyal rendelkező gyártás, amely biztosítja a tételenkénti állandóságot.

A vállalat kvarchajói félvezető berendezések gyártóival együttműködve átfogó minősítési teszteken estek át, amelyek igazolják a szilícium-karbid termékek megbízhatóságát a valós alkalmazásokban.

Alkalmazások az ostyagyártásban

A kvarc hajósorozatot mostantól a következőkhöz alkalmazzák:

• Előoldali waferfeldolgozás (pl. oxidáció, dopping).

• Hátoldali hőkezelés fejlett csomagoláshoz.

• Fotovoltaikus cellák gyártása, ahol a magas hőmérsékleti stabilitás kulcsfontosságú.

Jövőbeli fejlemények

Erre a sikerre építve a Shenyang Starlight bővíti félvezető kerámia portfólióját, folyamatban lévő projektekkel a következő területeken:

• Szilícium-karbid bevonatú kvarc alkatrészek a fokozott tartósság érdekében.

• Testreszabott hajótervek a következő generációs ostyaméretekhez.

• Alacsony részecskekibocsátású anyagok az EUV litográfiai kompatibilitáshoz.

Elkötelezettség a félvezető kiválóság iránt

"A félvezetőgyártás gyorsan fejlődik, és elkötelezettek vagyunk amellett, hogy élvonalbeli kerámia megoldásokat kínáljunk, amelyek lehetővé teszik ügyfeleink sikerét – tette hozzá a szóvivő.