A Shenyang Starlight Advanced Ceramics mérföldkövet ért el a félvezetőgyártásban a 12 hüvelykes szeletfeldolgozáshoz használt precíziós, 451 mm-es külső átmérőjű béléscsövekkel.

A szilícium-karbid gyártás úttörő vállalata, a több mint három évtizedes tapasztalattal rendelkező Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd. a közelmúltban jelentős áttörést ért el azzal, hogy sikeresen leszállított speciális, 451 mm külső átmérőjű (OD) béléscsöveket 12 hüvelykes félvezető ostyagyártási folyamatokhoz. Ez az eredmény aláhúzza a vállalat vezető szerepét a globális félvezetőipar kritikus kerámia alkatrészeinek fejlesztésében. Az újonnan kifejlesztett, kifejezetten magas hőmérsékletű ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz tervezett béléscsövek 451 mm-es optimalizált perem külső átmérővel rendelkeznek, amelyeket a fejlett félvezetőgyártó berendezések szigorú követelményeinek megfelelően terveztek. Rendkívül nagy tisztaságú szilícium-karbidot (≥99,999%) használva, kivételes hőstabilitással (üzemi tartomány: környezeti hőmérséklettől 1450 °C-ig), ezek...béléscsövek Az alkatrészek minimális hőtágulást (4,0×10⁻⁶/K együttható) és kiváló ellenállást biztosítanak a korrozív folyamatgázokkal szemben, lehetővé téve az oxidációs, diffúziós és kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) folyamatokban való állandó teljesítményt. A béléscsövek precíziós mérnöki tervezése garantálja a ±0,05 mm-en belüli mérettűréseket és az Ra 0,1 μm alatti felületi érdességet, ami kritikus fontosságú a lapka integritásának megőrzése és a részecskeszennyeződés kockázatának csökkentése érdekében tisztatéri környezetben.

A béléscsövekA fejlesztési folyamat 18 hónapos szigorú K+F együttműködést foglalt magában vezető félvezetőgyártókkal, beleértve a fejlett végeselemes analízist (FEA) a gázáramlás dinamikájának és a hőegyenletesség optimalizálása érdekében a 300 mm-es belső átmérőn. Több mint 500 hőciklus-teszt igazolta abéléscsövekTartósság gyors hőmérséklet-ingadozások mellett, miközben a szabadalmaztatott szinterelési technikák biztosítjákbéléscsövek szerkezeti integritás szélsőséges hőmérsékleteken. A gyártás ISO 5 osztályú tisztaterekben történik, ahol minden egység átfogó vizsgálaton esik át béléscsövekminőségellenőrzések, beleértve a héliumszivárgás-vizsgálatot, a maradékgáz-elemzést (RGA) és a lézerszkennerek és koordináta-mérőgépek (CMM) segítségével történő metrológiai validálást. A fejlett logikai és memóriachip-gyártás korai alkalmazói a kemence állásidejének 35%-os csökkenéséről és a lapkahozam 20%-os javulásáról számoltak be a hagyományos kvarcbetétekhez képest, ami az anyag inherens kémiai inertségének és a csökkentett karbantartási igénynek tulajdonítható.

Ez béléscsövekAz innováció a félvezetőipar egyre növekvő igényét célozza meg a nagyobb ostyaméretek és a nagyobb folyamatkonzisztencia iránt, különösen ahogy a gyártók átállnak az 5 nm alatti csomópontokra. A 451 mm-es külső átmérőjű kialakítás zökkenőmentes integrációt tesz lehetővé a következő generációs függőleges kemencékkel, míg az anyag ultra-alacsony fémszennyeződési szintje (<0,1 ppb) megakadályozza az adalékanyag-szennyeződést az érzékeny folyamatokban. A jelenlegi alkalmazásokon túl a Shenyang Starlight aktívan fejleszt intelligens...béléscsövekprototípusok beágyazott érzékelőkkel a valós idejű hőmérséklet-monitorozáshoz és az Ipar 4.0 gyártási ökoszisztémákkal kompatibilis adaptív hőmérséklet-kezelő rendszerekhez.

A Shenyang Starlight 30 éves múltra és több mint 2000 sikeres ügyfélkapcsolatra építve továbbra is az innováció motorja a nagy teljesítményű kerámiák terén, az anyagtudományi kiválóságot a precíziós mérnöki munkával ötvözve a félvezetőipar legösszetettebb kihívásainak megoldása érdekében.