A Shenyang Starlight Advanced Ceramics sikeresen leszállított 8 hüvelykes szilícium-karbid háromoszlopos hajókat félvezető ostya-feldolgozáshoz

A Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., a szilícium-karbid termékek vezető gyártója, több mint 30 éves iparági tapasztalattal, a közelmúltban jelentős mérföldkövet ért el a félvezető ostyák hőkezelési alkalmazásaihoz speciális, 8 hüvelykes szilícium-karbid háromoszlopos hajók sikeres fejlesztésével és leszállításával.

Áttörés az ostyafeldolgozási technológiában

Az újonnan kifejlesztett 8 hüvelykesszilícium-karbidA háromoszlopos csónakok jelentős előrelépést jelentenek az ostyakezelési technológiában, kifejezetten a következőkre tervezve:

• 200 mm-es félvezető ostyák magas hőmérsékletű feldolgozása

• Egyenletes hőeloszlás a kritikus gyártási lépések során

• Csökkentett szennyeződési kockázatok tisztatéri környezetben

Műszaki fölény

Ezek a precíziósan megtervezett hajók a következőket kínálják:

• Ultra nagy tisztaságúszilícium-karbidanyag (99,99%-os tisztaság)

• Optimalizált hárompólusú kialakítás a minimális lapkaérintkezés érdekében

• Kivételes hősokk-állóság (akár 1400°C-ig képes ellenállni a gyors hőmérséklet-változásoknak)

• Kiváló kémiai inertség a korrozív folyamatgázokkal szemben

Az iparági igények kielégítése

"A mi 8 hüvelykesünkszilícium-karbid„A háromoszlopos csónakok a félvezetőipar megbízható, nagy teljesítményű ostyahordozók iránti növekvő igényét elégítik ki” – mondta Dr. Li, technológiai igazgató. „Jelentős előnyöket kínálnak a hagyományos kvarchordozókkal szemben, beleértve a hosszabb élettartamot és a jobb hőstabilitást.”

Szigorú fejlesztési folyamat

A termékfejlesztés a következőket foglalta magában:

• 18 hónap intenzív kutatás-fejlesztés

• Együttműködés vezető félvezetőgyártókkal

• Több mint 200 hőciklus-teszt

• Szigorú részecskeszennyeződés-ellenőrzési intézkedések

Minőségbiztosítás

Minden egység a következőkön megy keresztül:

• Méretpontosság-ellenőrzés (±0,02 mm-es tűréshatár)

• Felületi érdesség vizsgálata (Ra < 0,2 μm)

• Átfogó vizuális ellenőrzés

• Végső tisztítás és csomagolás 100-as osztályú tisztatérben

Alkalmazások

A hajókat jelenleg a következő célokra használják:

• Diffúziós folyamatok

• Lágyító kezelések

• Oxidációs folyamatok

• CVD-alkalmazások

Jövőbeli fejlemények

Erre a sikerre építve a Shenyang Starlight most a következőket fejleszti:

• 12 hüvelykes változat a következő generációs wafer méretekhez

• Testreszabott tervek az adott folyamatkövetelményekhez

• Korszerű bevonatok speciális alkalmazásokhoz

Vállalati elkötelezettség

"Három évtizedes kerámia szakértelemmel rendelkező vállalatként továbbra is elkötelezettek vagyunk a félvezető anyagok technológiájának határainak feszegetése iránt – tette hozzá Dr. Li. "Ez a termékbevezetés demonstrálja képességünket olyan megoldások fejlesztésére, amelyek megfelelnek az iparág legigényesebb követelményeinek."