Shenyang Starlight Advanced Ceramics: 30 éves örökség a szilícium-karbid átmenetben a félvezetők határain

A szilícium-karbid gyártás úttörőjeként működő, három évtizedes tapasztalattal rendelkező Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd. stratégiailag áll át a hagyományos kemencés bútorok gyártásáról a félvezető minőségű megoldásokra. Mélyen gyökerező műszaki szakértelmére és globális ellátási lánc képességeire támaszkodva a vállalat készen áll arra, hogy újraértelmezze a precíziót.szilícium-karbidalkatrészek a következő generációs chipgyártáshoz.

A kemencétől a forgácsig: ​​stratégiai evolúció

Az 1995-ben kínai-német vegyesvállalatként alapított Shenyang Starlight kezdetben ipari kemencealkatrészekre összpontosított, országos high-tech vállalatként vált ismertté, és több mint 20 országba exportálta termékeit. A félvezető...szilícium-karbidA piac várhatóan 2028-ra meghaladja a 10 milliárd dollárt, a vállalat 2019-ben megkezdte a diverzifikációt a fejlett anyagok részlegének létrehozásával, amely a nagy tisztaságú anyagokat célozza meg.szilícium-karbidfélvezető berendezések szerkezeti alkatrészei.

„A mi elmozdulásunk összhangban van Kína félvezető-önellátásra irányuló törekvéseivel” – mondta Xing vezérigazgató.szilícium-karbidTermikus stabilitása és tisztasága nélkülözhetetlenné teszi a maratásban, leválasztásban és waferkezelő rendszerekben.”

Technológiai áttörések az átmenet előmozdításában

1. Ultra nagy tisztaságú anyaginnováció

A cég most 4N+ (99,99%) tisztaságú termékeket gyártszilícium-karbidporokat szabadalmaztatott finomítási eljárásokkal, eltávolítva a szennyeződésre érzékeny félvezető folyamatokhoz kritikus fontosságú fémes szennyeződéseket.

A többlépcsős szinterezés (reakciókötéses, átkristályosított és melegen sajtolt) biztosítja a >3,1 g/cm³ sűrűséget, amely megfelel az ASML és TEL vákuumkompatibilitási előírásoknak.

2. Precíziós gyártási képességek

A fejlett alakítási technikák, beleértve az izosztatikus préselést és a 3D nyomtatást, lehetővé teszik az összetett geometriák, például a wafer-kezelő robotok és a CVD kamrabélések ±0,01 mm-es tűréssel történő előállítását.

A saját fejlesztésű lézerrel segített megmunkálás 60%-kal csökkenti a felület alatti károsodást a hagyományos köszörüléshez képest, ami kulcsfontosságú a litográfiai szakaszokban az <1 nm felületi érdesség szempontjából.

3. Iparágak közötti szinergia

A vállalat évtizedekig tartó kemencealkatrész-kutatás-fejlesztési tapasztalatára támaszkodva hősokk-álló kialakításait (eredetileg 1600 °C-on kerámia szinterezéshez) félvezető gyors hőfeldolgozó (RTP) rendszerekké alakította, így 30%-kal hosszabb élettartamot ért el a kvarc alternatívákhoz képest.

Félvezető termékportfólió

Ostyahordozók: Átkristályosítottszilícium-karbidtálcák magas hőmérsékletű diffúziós kemencékhez, amelyek 50%-kal csökkentik a részecskeképződést az alumínium-oxidhoz képest.

Vákuumtokmányok: Alacsony gázkibocsátásúszilícium-karbidElektrosztatikus tokmányok beágyazott hűtőcsatornákkal EUV litográfiai rendszerekhez.

Plazmaálló alkatrészek: Nitridkötésűszilícium-karbidMarószerszámokhoz való védőburkolatok, több mint 500 órás korrozív plazmatesztekkel validálva.

Együttműködő ökoszisztéma-építés

1. Akadémiai partnerségek: Kvantumpontokkal erősített rendszerek közös fejlesztéseszilícium-karbidbevonatok a Shenyang Egyetemmel a lapkák összetapadásának minimalizálása érdekében nagy vákuumú környezetben.

2. Iparági szövetségek: 2024-ben csatlakozott a Liaoning Félvezető Anyagok Konzorciumához, megosztvaszilícium-karbidfeldolgozási szabványok az SMIC-vel és a Naura-val.

3. Globális tanúsítvány: 2025 második negyedévében megszerezte a SEMI S2 megfelelőséget, ami megnyitotta az utat az 1. szintű öntödei jóváhagyások előtt.

Kihívások és jövőbeli ütemterv

Míg a hagyományos kemencében előállított termékek továbbra is a bevétel 65%-át teszik ki, a félvezető részleg évi 40%-os növekedést céloz meg a következők révén:

Kapacitásbővítés: Az izosztatikus présgépek számának megduplázása 2026 harmadik negyedévére a 8 hüvelykes wafer szerszámok iránti kereslet kielégítése érdekében.

Mesterséges intelligencia által vezérelt minőségellenőrzés: Gépi látás megvalósítása valós idejű hibaészleléshez CNC megmunkálás során.

Körforgásos gazdaság: Az őrlési iszap 95%-ának újrahasznosítása szabadalmaztatott szűrőrendszereken keresztül, összhangban az ESG célokkal.

„30 éves utunk tükrözi Kína gyártási fejlődését” – jegyezte meg Zhang Wei műszaki igazgató. „A kemencepolcoktól a forgácsgyárakig mindent írunk…”szilícium-karbidkövetkező fejezete – egyszerre egy atomréteg.”